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日立HD-2700帶有球差校正的場發射掃描透射電子顯微鏡

產品介紹：

HD-2700帶有球差校正的場發射掃描透射電子顯微鏡

電鏡球差校正技術的實用化，使得同時進行高分辨率觀察和高靈敏度分析成為可能。日立高新技術公司與CEOS公司共同的努力，成功地開發出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。

HD-2700通過球差校正，用大會聚角獲得了亞納米級電子束，在分辨率和分析性能獲得重大的進步。

HD-2700共有三種型號，分別是配有球差校正的高分辨型和標準型，以及無球差校正型，可根據應用需求選擇。

特點：

1.高分辨觀察

*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像（標準型）

2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍)，可以進行高速、高靈敏度能譜分析

*可以在更短的時間內獲得元素的面分布圖

*檢測微量元素成為可能

3.簡化的操作

*提供了專用的GUI自動調節球差校正器

4.整體的解決方案

*樣品桿與日立FIB兼容，提供了納米尺度的整體解決方案：從制樣到數據獲得和分析

5.多種評價/分析功能可選

*同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像

*可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(DF-STEM像可以同時獲得)

*實時衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時觀察)

*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染

*可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析(360度旋轉)

*準確的放大倍率校準功能

性能指標：

分辨率：

1、配有球差校正的標準型0.144nm，電子槍：冷場或熱場

2、配有球差校正的高分辨型0.136nm，電子槍：冷場

3、無球差校正型0.204nm，電子槍：熱場

加速電壓：200KV

放大倍率：100x-10,000,000