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日立HD-2700帶有球差校正的場發射掃描透射電子顯微鏡
產品介紹: HD-2700帶有球差校正的場發射掃描透射電子顯微鏡 電鏡球差校正技術的實用化,使得同時進行高分辨率觀察和高靈敏度分析成為可能。日立高新技術公司與CEOS公司共同的努力,成功地開發出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。 HD-2700通過球差校正,用大會聚角獲得了亞納米級電子束,在分辨率和分析性能獲得重大的進步。 HD-2700共有三種型號,分別是配有球差校正的高分辨型和標準型,以及無球差校正型,可根據應用需求選擇。 特點: 1.高分辨觀察 *利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像(標準型) 2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍),可以進行高速、高靈敏度能譜分析 *可以在更短的時間內獲得元素的面分布圖 *檢測微量元素成為可能 3.簡化的操作 *提供了專用的GUI自動調節球差校正器 4.整體的解決方案 *樣品桿與日立FIB兼容,提供了納米尺度的整體解決方案:從制樣到數據獲得和分析 5.多種評價/分析功能可選 *同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像 *可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(DF-STEM像可以同時獲得) *實時衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時觀察) *低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染 *可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析(360度旋轉) *準確的放大倍率校準功能 性能指標: 分辨率: 1、配有球差校正的標準型0.144nm,電子槍:冷場或熱場 2、配有球差校正的高分辨型0.136nm,電子槍:冷場 3、無球差校正型0.204nm,電子槍:熱場 加速電壓:200KV 放大倍率:100x-10,000,000 |
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