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日立SU-1510鎢燈絲掃描電鏡

SU-1510鎢燈絲掃描電鏡

主機寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

特點
1. 儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。
2. 標配低真空功能，可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。
3. 可載入至大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進行元素分析。
4. 強大的鼠標控制功能，可實現電鏡的所有操作。

性能指標
二次電子分辨率：3.0nm（高真空，30kV）
背散射電子分辨率：4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
放大倍率：5～300,000倍