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日立S-3400N掃描電子顯微鏡

S-3400N鎢燈絲掃描電子顯微鏡

特點:

1. S-3400N具有強大的自動功能，包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。

2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。

3. 新型5分割高靈敏半導體式背散射探頭，可在低加速電壓下成像。

4. S-3400N II型具有五軸馬達臺，傾斜角度可達-20度~+90度，樣品至高可達80mm。

5. 分析樣品室可以同時安裝EDS，WDS 及EBSD等附件。

6. 真空系統使用渦輪分子泵，潔凈 。

性能指標：

二次電子分辨率：3.0nm（高真空，30kV）

背散射電子分辨率：4.0nm(低真空：6Pa，30kV）

放大倍率：5～300,000倍